本发明属于电子技术领域，公开了一种微纳米柱柔性阵列薄膜体声波谐振子滤波器及其制备。所述滤波器包括柔性支撑衬底和阵列微纳米柱滤波器，阵列微纳米柱滤波器由滤波器单元周期性重复形成；衬底表面设置有若干个独立的凹槽；滤波器单元包括分别由若干个谐振子组成的串联谐振臂和并联谐振臂；谐振子包括底电极和微纳米柱压电层，底电极设置在衬底上，与凹槽形成空气腔；压电层设置在底电极上，压电层的四周设有绝缘层，压电层和一侧的绝缘层上设有顶电极，另一侧绝缘层设有通孔，通孔中设有底电极材料，底电极与相邻谐振子的顶电极连通。本发明的滤波器提高了器件结构的鲁棒性，降低了压电薄膜的损耗，具有较好的应用前景。